Prancūzija – Elektromechaniniai įrenginiai – Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool
Prancūzija – Elektromechaniniai įrenginiai – Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Adresas: 17 avenue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto
kodas: 38000
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: thomas.zemerli@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool
Nuorodos numeris: B26-00241-TZ
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31720000
Elektromechaniniai įrenginiai
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Le CEA Leti, pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà (FDSOI10), souhaite faire l’acquisition d’un équipement de gravure FEOL/MEOL pour sa salle-blanche.
L’équipement sera capable de traiter des wafers de 300mm et permettra la gravure hautement sélective et isotropique du silicium (Si) et silicium-germanium (SiGe).
Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes :
- Option 1 : Process 7 (gravure du spacer SiCO)
- Option 2 :Process 8 (gravure du spacer et SADP)
- Option 3 : Formation de maintenance Niveau 1
Ainsi que le coût des options à réponses facultatives :
- Option 4 : Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6)
- Option 5 : Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4)
- Option 6 : Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9)
- Option 7 : Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2)
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31720000 Elektromechaniniai įrenginiai