Šveicarija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Dünnschicht-Cluster-Abscheidungssystem für das Sputtern von Metallen und Dielektrika

Šveicarija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Dünnschicht-Cluster-Abscheidungssystem für das Sputtern von Metallen und Dielektrika

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Adresas: Binzmühlestrasse 130
Miestas: Zürich
Pašto kodas: 8092
Šalis: Šveicarija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: publictender@ethz.ch
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: https://www.ethz.ch

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Thin Film Cluster Deposition System for Sputtering of Metals and Dielectrics

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Thin-film cluster coating system for sputtering metals and dielectrics Cluster system with an airlock and 4 process chambers (PCs) for DC and RF sputtering of dielectrics and metals on semiconductors and other substrates. Please refer to our specification for details.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)