Vokietija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Ionenstrahlätzanlage

Vokietija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Ionenstrahlätzanlage

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Adresas:
Miestas: Jena
Pašto kodas: 07745
Šalis: Vokietija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: saskia.bach@leibniz-ipht.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Ionenstrahlätzanlage
Nuorodos numeris: 06.25.O.00

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)