Belgija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – BEOL etch platform

Belgija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – BEOL etch platform

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Imec EU Pilot line NV
Adresas: Kapeldreef 75
Miestas: Heverlee
Pašto kodas: 3001
Šalis: Belgija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: tom.wauters@imec.be
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

BEOL ETCH PLATFORM
Nuorodos numeris: JPA2025ID20 a

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

De aankoop van een toestel voor het verwijderen van fotoresistlagen bij hoge temperatuur ofwel een nieuwe BEOL Etch Cluster. • 300mm Dry Etch/Strip Platform met 3 Procesmodules zoals hieronder beschreven: • Metaal Dry Etcher geschikt voor metaal, metaaloxiden en diverse HM (Hard Mask) etses • Diepe Si Etcher geschikt voor TSV (Through-Silicon Via) • Dry Stripper of Asher met waterdamp passivatie mogelijkheid Deze procesmodules zijn gericht op verschillende BEOL-toepassingen van legacy-technologieknooppunten tot N3 en verder.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)