Danija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – tender for a batch spray tool

Danija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – tender for a batch spray tool

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Danmarks Tekniske Universitet - DTU
Adresas: Anker Engelunds Vej 1
Miestas: Kgs. Lyngby
Pašto kodas: 2800
Šalis: Danija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: mihaiv@dtu.dk
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: https://www.dtu.dk

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

tender for a batch spray tool
Nuorodos numeris: 9868

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

DTU Nanolab requires one spray tool equipped with ozone, HF, HCl and NH4OH for wafer cleaning purposes. The tool is to be able to handle batch processing (up to 25 wafers per run). The tool will be used in our ISO 14644-1 Class 4 and 5 clean room. The tool will be used by many different users with diverse backgrounds, which means that operator safety is an important aspect. Another important aspect is the ease of use with special attention on software operation and setup change for different wafer sizes. Please see Appendix 1 Requirement specification for further information.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)