Vokietija – Elektrinės mašinos, aparatai, įranga ir reikmenys. Apšvietimas – Sputtercluster
Vokietija – Elektrinės mašinos, aparatai, įranga ir reikmenys. Apšvietimas – Sputtercluster
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Adresas: Linder Höhe
Miestas: Köln
Pašto
kodas: 51147
Šalis: Vokietija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: evergabe@dlr.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Sputtercluster
Nuorodos numeris: ELVIS-ID E57787747
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31000000
Elektrinės mašinos, aparatai, įranga ir reikmenys. Apšvietimas
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung beinhaltet eine Kombi-Gerät mit Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätzanlage (ion beam etching IBE). Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt.
Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31000000 Elektrinės mašinos, aparatai, įranga ir reikmenys. Apšvietimas