Belgija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica

Belgija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Imec EU Pilot line NV
Adresas: Kapeldreef 75
Miestas: Heverlee
Pašto kodas: 3001
Šalis: Belgija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: tom.wauters@imec.be
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica
Nuorodos numeris: JPA2025ID58

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

de aankoop van een toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica Dit is een 300 mm verwerkingsplatform met drie kamers. Het bevat: • Een module voor het aanbrengen van micron-dikke (>20 µm) diëlektrische lagen, bedoeld voor gap-fill toepassingen. • Een module voor diëlektrische depositie aan de achterzijde van de wafer, gebruikt voor spanningscompensatie. • Een Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PeCVD) module voor het aanbrengen van standaard diëlektrische materialen.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)