Prancūzija – Elektromechaniniai įrenginiai – Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL

Prancūzija – Elektromechaniniai įrenginiai – Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Adresas: 17 avenue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto kodas: 38000
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: thomas.zemerli@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL
Nuorodos numeris: B24-06195-TZ

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31720000 Elektromechaniniai įrenginiai

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL. Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors. Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes : - Formation maintenance niveau 1 (page 36 du cahier des charges) - Formation maintenance avancée ((page 36 du cahier des charges) Ainsi que le coût des options à réponses facultatives : - une station tampon (buffer station) pour le refroidissement des plaques (page 13 du cahier des charges) - une station de refroidissement (page 13 du cahier des charges) - une station tampon (buffer station) pour le stockage des wafers dummies (page 14 du cahier des charges) - une station d’alignement du notch (page 14 du cahier des charges) - un load port additionnel (page 14 du cahier des charges) - échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (page 16 du cahier des charges) - transformateur électrique (page 24 du cahier des charges) - deuxième année de garantie ((page 36 du cahier des charges)

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31720000 Elektromechaniniai įrenginiai