Vokietija – Elektronų pluoštą registruojantys prietaisai – Electron Beam Lithography system

Vokietija – Elektronų pluoštą registruojantys prietaisai – Electron Beam Lithography system

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Karlsruher Institut für Technologie
Adresas: Hermann-von-Helmholtz-Platz 1
Miestas: Eggenstein-Leopoldshafen
Pašto kodas: 76344
Šalis: Vokietija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: martin.jackisch@kit.edu
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Electron Beam Lithography system
Nuorodos numeris: 240 - 2403_VA

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38341100 Elektronų pluoštą registruojantys prietaisai

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines "Electron Beam Lithography system"; eines Elektonenstrahlschreibers. Die Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen gehört zu den Grundanforderungen vieler im neu geplanten KCOP Gebäudes des KIT vertretenen Arbeitsgruppen. Die permanente und reibungslose Verfügbarkeit einer leistungsfähigen Elektronenlithographie ist daher unabdingbar. Deshalb soll eine 100kV Elektronenlithographieanlage (EBL) für das Karlsruhe Center for Optics and Photonics (KCOP) am KIT - Campus Nord, Eggenstein-L.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38341100 Elektronų pluoštą registruojantys prietaisai