Danija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Plasmapro 100 Cobra

Ted skelbimo peržiūra

Danija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Plasmapro 100 Cobra

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Københavns Universitet

Adresas: Nørregade 10

Miestas: København K

Pašto kodas: 1165

Šalis: Danija

Asmuo ryšiams:

El-paštas: bettina.dion@adm.ku.dk

Interneto adresas (-ai):

Pagrindinis adresas: http://www.ku.dk/

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Plasmapro 100 Cobra

Nuorodos numeris: 043-1392/24-7000

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

We are purchasing an ICP dry etching machine for the KU cleanroom, to be installed with fluorine-based chemistry within the cleanroom. It will be optimized for the etching silicon nitride structures on both silicon and GaAs substrates during installation. • Compatibility with current cleanroom equipment - Oxford Instruments Plasmalab 100 ICP65 • Be able to process 100mm wafers, as well as individual pieces to specification. • Must realize smooth sidewall structures in Silicon Nitride that are defined by Electron Beam Lithography (EBL). • Optimization for silicon nitride etching, though capable of etching other materials (such as NbTiN.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)

Daugiau informacijos apie šį skelbimą rasite spustelėje NUORODĄ