Šveicarija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – ICP3 Joninio ėsdinimo įrenginys PIRMASIS ETH Ciurichas

Šveicarija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – ICP3 Joninio ėsdinimo įrenginys PIRMASIS ETH Ciurichas

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Adresas: Binzmühlestrasse 130
Miestas: Zürich
Pašto kodas: 8092
Šalis: Šveicarija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: publictender@ethz.ch
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: https://www.ethz.ch

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

ICP3 Ion etching system FIRST ETH Zurich
Nuorodos numeris: bc0a3ccd-35a0-4853-9a03-2e217eab5db7

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Delivery of a reactive ion etching system with inductively coupled plasma, consisting of a gas supply system for at least 9 gases, with process pressure up to 100 mtorr and gas flows up to 500 sccm, RF/ICP generators in the kW range with autotuning, spectroscopic monitoring of the plasma, automatic loading lock for fast loading, for sample sizes from 4 inch diameter, with sample temperature control in the range from 10 to 300 °C.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)