Prancūzija – Elektromechaniniai įrenginiai – ALD įranga MEOL/BEOL medžiagoms
Prancūzija – Elektromechaniniai įrenginiai – ALD įranga MEOL/BEOL medžiagoms
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Adresas: 17 avenue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto
kodas: 38000
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: thomas.zemerli@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL
Nuorodos numeris: B24-06195-TZ
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31720000
Elektromechaniniai įrenginiai
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL.
Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors.
Les options suivantes sont levées dès la notification du marché :
o Option 1 : une station tampon (buffer station) pour le refroidissement des plaques
o Option 2 : une station de refroidissement
o Option 3 : une station tampon (buffer station) pour le stockage des wafers dummies (inclus dans l’équipement de base)
o Option 4 : une station d’alignement du ‘notch’ (inclus dans l’équipement de base)
o Option 5 : un load port additionnel (inclus dans l’équipement de base)
o Option 8 : Deuxième année de garantie
o Option 9 : Formation maintenance de niveau 1
o Option 10 : Formation maintenance niveau avancée
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31720000 Elektromechaniniai įrenginiai