Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »

Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Adresas: 17 avenue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto kodas: 38000
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: claire.moreau-flachat@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Nuorodos numeris: B25-00642-CMF

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm. Le marché envisagé comprend les options à chiffrage obligatoire suivantes : - Option 1 : Chambre de gravure pour l’optimisation du contact, tel que décrit aux paragraphes 2.7 et 3.1.5 du cahier des charges. - Option 2 : Chambre de gravure pour le creux latéral (« lateral recess »), tel que décrit au paragraphe 2.8 et 3.1.8 du cahier des charges. - Option 3 : Connexion de l’équipement avec une boite sous-vide pour le transport de plaques, tel que décrit aux paragraphes 3.4 du cahier des charges. Il comprend également les options à chiffrage facultative suivantes : - Option 4 : Systèmes de pompages, tel que décrit au paragraphe 3.2.1 du cahier des charges. - Option 5 : Systèmes de régulation de température, tel que décrit au paragraphe 3.2.6 du cahier des charges. - Option 6 : Transformateur électrique, tel que décrit au paragraphe 4.1.4 du cahier des charges). - Option 7 : Formation maintenance niveau 1, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges). - Option 8 : Formation maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges). - Option 9 : Deuxième année de garantie, tel que décrit au paragraphe 11 du cahier des charges).

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai